;特別是旋轉(zhuǎn)軸,由于旋轉(zhuǎn)頭使用ESEC特有的氣壓旋轉(zhuǎn)軸承,氣壓軸承旋轉(zhuǎn)軸組合的中心,與實際旋轉(zhuǎn)軸的支點共線,獨立于實際旋轉(zhuǎn)軸位置,保證了以最低動力提供高加速度和低響應(yīng)等待時間。
　　另外,傳統(tǒng)設(shè)計中Bondhead的運動失真與運動速度成正比,3100 Z軸的輕量設(shè)計、閉環(huán)工藝控制調(diào)節(jié),消除了Bondhead循環(huán)運動時各種瞬間力和振動的副作用影響,顯著減小線焊之前需要的響應(yīng)等待時間和振動失真,實現(xiàn)了優(yōu)化和穩(wěn)定的工藝和高速度。
　　3100吸引用戶的特點還包括利用人體工程學(xué)研究設(shè)計的操作硬件界面,以及全新的基于視窗的用戶友好圖象界面。熟悉ESEC的用戶不難發(fā)現(xiàn),3100僅使用了一個顯示器,視窗操作界面直觀,操作簡單,包括中文在內(nèi)的多語種選擇"彈指之間"就能實現(xiàn)。
----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
　　FSI：為中國客戶提供低運行成本的高質(zhì)量清洗設(shè)備
　　批量旋轉(zhuǎn)噴淋 (centrifugal spray) 清洗技術(shù)領(lǐng)先供應(yīng)商FSI公司,在SEMICON展會前一天以"為IC制造提供高品質(zhì)的保證"為主題舉辦了"FSI表面處理研討會",介紹其批量旋轉(zhuǎn)噴淋清洗、浸潤式清洗和單晶圓清洗和單晶圓低溫氣霧清洗設(shè)備與技術(shù)。
　　FSI主席兼首席執(zhí)行官Don Mitchell說："中國芯片工業(yè)有以下兩個特點：中國技術(shù)進步的速度比世界其它地方都快;中國有成本優(yōu)勢。FSI一直致力于為制造商提供低運行成本、高產(chǎn)量的解決方案。使用FSI設(shè)備的中國工廠將享有低運行成本和低風(fēng)險的好處。"
　　以化學(xué)品消耗少、產(chǎn)量高、靈活、使用成本低,一個系統(tǒng)可以使用多種技術(shù)為特點,FSI的MERCURY旋轉(zhuǎn)噴淋清洗系統(tǒng)在中國已得到了廣泛使用。MERCURY旋轉(zhuǎn)噴淋清洗系統(tǒng)在中國有相當大的客戶群,上海先進半導(dǎo)體（ASMC）的工程師趙水林在研討會上即介紹了其應(yīng)用MERCURY的感受。MERCURY的升級產(chǎn)品ZETA已經(jīng)被全世界的領(lǐng)先芯片制造商使用。最近FSI推出了最先進的MAGELLAN系統(tǒng),進入了浸潤式清洗市場。MAGELLAN系統(tǒng)具有世界水平的性能和靈活性,主要針對領(lǐng)先的芯片制造商。
----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
　　KLA－Tencor：保持技術(shù)的領(lǐng)先性,為頂級制造廠提供領(lǐng)先的檢測設(shè)備
　　KLA-Tencor在本屆SEMICON China展會期間將最新推出的產(chǎn)品悉數(shù)展列,包括業(yè)界第一個電子束檢測設(shè)備e30,針對90nm制程設(shè)計的光掩膜版檢測系統(tǒng)TeraScan和業(yè)界第一個嵌入式非接觸金屬膜測量系統(tǒng)。
　　"保持技術(shù)的領(lǐng)先性是公司的經(jīng)營哲學(xué)之一。" KLA-Tencor全球副總裁Stan K. Yarbro博士在被問及如何看待一些中小公司進行低成本競爭時回答說。KLA－Tencor永遠追求技術(shù)的獨創(chuàng)性,并不斷投入資金用于研發(fā)而保證其技術(shù)的全球領(lǐng)先性,為領(lǐng)先制造廠提高最先進的設(shè)備與技術(shù)。舉例來說,TeraScan深紫外（DUV）光掩膜版檢測系統(tǒng)是目前90nm光掩膜版檢測所必須的,它可檢測到80nm大小的傳統(tǒng)缺陷以及50nm大小的線寬（CD）缺陷,能夠?qū)崿F(xiàn)目前IC生產(chǎn)領(lǐng)域幾乎所有類型光掩膜版的檢測,而無需考慮光掩膜版的波長和分辨率。它是領(lǐng)先半導(dǎo)體制造廠光掩膜版檢測必備的系統(tǒng)。而高達2億美元的研發(fā)費用決定了其市場價格達到了千萬美元級。
　　"KLA-Tencor在中國售出的產(chǎn)品部分已達到了90nm的技術(shù)水平,雖然目前中國還沒有90nm產(chǎn)品,但這些領(lǐng)先的設(shè)備為中國半導(dǎo)體制造廠提升技術(shù)水平做好了準備。"科天中國公司總經(jīng)理李家震說。
----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
　　七星華創(chuàng)（Sevenstar Huachuan）：通過合作提升產(chǎn)品技術(shù)水平
　　七星華創(chuàng)在展會期間宣布與AVIZA公司合作,希望在中國提供亞微米水平的熱處理和淀積系統(tǒng)的制造能力。七星在展會期間還展示了其與Qualiflow公司合作生產(chǎn)的七星弗洛爾質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器等產(chǎn)品。七星華創(chuàng)董事長王蔭桐說,合作將為雙方的用戶提供高性能、低價格的產(chǎn)品,并贏得更大的市場份額。
　　利用國外的先進技術(shù),結(jié)合本土低成本制造,生產(chǎn)高性價比的產(chǎn)品,七星華創(chuàng)不僅繼承了北京建中機器廠40多年在微電子設(shè)備方面的研發(fā)制造經(jīng)驗,也在快速提升自己的技術(shù)水平,開拓新的市場。
----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
　　SEZ：單晶圓清洗技術(shù)是未來的發(fā)展方向
　　專注于半導(dǎo)體單晶圓（Single Wafer）濕式處理技術(shù)的領(lǐng)先供應(yīng)商SEZ在SEMICON China期間展示了幾款專為中國客戶開發(fā)的產(chǎn)品和技術(shù),同時宣布又獲得了一家中國領(lǐng)先半導(dǎo)體廠商涉及旋轉(zhuǎn)處理系統(tǒng)（spin-processor systems）的訂單。SEZ最新的Da Vinci 系列單晶圓清洗系統(tǒng)已在中國一家主要半導(dǎo)體制造廠安裝成功。
　　復(fù)雜的半導(dǎo)體制造工藝步驟而今已達到了500道,而其中近100道是濕式制程步驟。SEZ執(zhí)行副總裁及亞太區(qū)總裁Herwig Petschnig介紹說,與噴淋法（Batch Spray）和傳統(tǒng)沉浸法（Wet Bench）相比,單晶圓清洗技術(shù)具有更高的均勻性和重復(fù)性,能夠更好的控制微粒子的清洗,而且其具有更快的循環(huán)周期,提高了系統(tǒng)的應(yīng)變力,更適合于小批量產(chǎn)品的生產(chǎn)轉(zhuǎn)換。目前SEZ的Da Vinci 和Galileo等系列產(chǎn)品主要用于晶圓制造后段（BEOL）和封裝領(lǐng)域的清洗、背面刻蝕等工藝。
　　隨著新材料在先進制程中的應(yīng)用,去除殘留物并對低k等脆弱材料不造成任何破壞成為了清洗挑戰(zhàn)之一,而清洗更小線寬的晶圓也需要設(shè)備制造商尋求更新的技術(shù),以達到良好的清洗效果。SEZ市場合作與交流部總監(jiān)兼首席市場官員Heinz Oyrer 說,SEZ放棄了沉浸式清洗設(shè)備業(yè)務(wù),而專注于單晶圓清洗技術(shù),正是相信這種技術(shù)能夠應(yīng)對未來的挑戰(zhàn)。