。由于V4000全面兼容所有的Versatest系列產(chǎn)品,所以在V4000上開(kāi)發(fā)的測(cè)試程序可以直接轉(zhuǎn)移到用于量產(chǎn)的其它Versatest基臺(tái)上,提供從工程到量產(chǎn)的關(guān)聯(lián)性和可重復(fù)性。
　　目前Agilent的測(cè)試平臺(tái)包括已在全球安裝了750多套系統(tǒng)93000 SOC系列、適用于高精度DC測(cè)量、電容測(cè)量、內(nèi)存電池測(cè)試和其它高頻應(yīng)用的4070系列和Versatest系列內(nèi)存測(cè)試系統(tǒng)。
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　　Applied Materials：以更少的設(shè)備投入達(dá)到更佳的檢測(cè)效果
　　隨著設(shè)計(jì)與工藝線寬的減小和晶圓尺寸的增大,提高檢測(cè)的效率與提高成品率成為了各大半導(dǎo)體制造廠關(guān)注的焦點(diǎn)。如何通過(guò)減少設(shè)備的采購(gòu)、減少后期的維護(hù)與運(yùn)營(yíng)成本而達(dá)到更好的檢測(cè)效果成為了晶圓廠追求的目標(biāo)。此次Applied Materials在SEMICON China期間重點(diǎn)介紹的ComPlus晶圓圖像檢測(cè)系統(tǒng)即是該公司對(duì)這一理念的追求成果。
　　ComPlus是針對(duì)90nm－45nm技術(shù)而設(shè)計(jì)的,用于光刻后線寬的檢測(cè)。ComPlus采用全自動(dòng)化操作,可以7天24小時(shí)運(yùn)行,避免了人為因素的影響。同時(shí)由于提高了設(shè)備的重復(fù)性和穩(wěn)定性,使系統(tǒng)之間的誤差降低到了1nm以下,從而避免了不同系統(tǒng)間檢測(cè)的誤差,解決了光刻后檢測(cè)的瓶頸。自動(dòng)化與系統(tǒng)的高重復(fù)和穩(wěn)定性保證了晶圓廠可以使用更少的設(shè)備進(jìn)行檢測(cè)。"ComPlus與同類(lèi)產(chǎn)品相比可節(jié)省30％的設(shè)備,同時(shí)減少占地面積,減少操作人員。而且由于設(shè)計(jì)水平已達(dá)到45nm,所有在領(lǐng)先的晶圓廠也可以應(yīng)用5年以上。它特別適合于新fab廠。" Applied Materials工藝分析與控制產(chǎn)品部市場(chǎng)經(jīng)理Yogev Barak說(shuō)。
　　Applied Materials在本屆展會(huì)中展示的另一重點(diǎn)產(chǎn)品是SEMVision 系列自動(dòng)缺陷SEM檢測(cè)儀,它是業(yè)界第一個(gè)FIB(Focused Ion Beam)與自動(dòng)檢測(cè)SEM的集成系統(tǒng),可以在SEM檢測(cè)后立即進(jìn)行FIB的在線缺陷鑒定。"檢測(cè)的關(guān)鍵在于找到正確的、需要的信息,而非大量的數(shù)據(jù),而且這些信息將是具有關(guān)聯(lián)性的,這樣才能有效的提高檢測(cè)的速度,而提高成品率。" Yogev Barak說(shuō)。由于采用了ClearCut專(zhuān)利技術(shù),SEM到FIB工作距離非常短,檢測(cè)的速度可以達(dá)到1000片/小時(shí)。系統(tǒng)還采用了MPSI（Multiple Perspective SEM Imaging）等先進(jìn)的影像技術(shù)以及缺陷分類(lèi)技術(shù),可以快速鑒別缺陷類(lèi)型。
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　　Asyst：協(xié)助實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體廠自動(dòng)化
　　集成自動(dòng)化解決方案供應(yīng)商Asyst Technolgies在SEMICON China期間展示了200mm 和300mm的標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械界面（Standard Mechanical InterFace, SMIF）和自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)（AMHS）。Asyst亞太區(qū)總裁粱熾庭說(shuō),中國(guó)半導(dǎo)體制造業(yè)目前正處于快速成長(zhǎng)期,如何提高產(chǎn)能、降低成本至關(guān)重要。Asyst作為SMIF標(biāo)準(zhǔn)的創(chuàng)立者,擁有大量的行業(yè)經(jīng)驗(yàn),必將能幫助中國(guó)的新廠提高生產(chǎn)效率。
　　中國(guó)區(qū)總經(jīng)理盧崇禎說(shuō),目前中國(guó)大約有90％的200mm晶圓廠正在采用Asyst－SMIF技術(shù)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。從天津Motorola MOS17的業(yè)務(wù)開(kāi)始,Asyst目前在中國(guó)已用戶包括了上海先進(jìn)。宏力半導(dǎo)體和中芯國(guó)際等公司。
　　Asyst的制造解決方案涵蓋孤立系統(tǒng)、制品材料管理、基片輸送機(jī)械手、自動(dòng)化傳輸與裝載系統(tǒng)以及連接自動(dòng)化軟件。目前全世界各地有超過(guò)12000臺(tái)半導(dǎo)體設(shè)備使用著各種規(guī)格的Asyst產(chǎn)品。
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　　Credence：為用戶提供低成本測(cè)試解決方案
　　專(zhuān)業(yè)自動(dòng)測(cè)試設(shè)備（ATE）領(lǐng)先供應(yīng)商Credence此次在SEMICON China展會(huì)上為中國(guó)客戶帶來(lái)了全線測(cè)試產(chǎn)品,包括混合信號(hào)和無(wú)線測(cè)試平臺(tái)ASL 3000RF、SOC測(cè)試平臺(tái)Octet和存儲(chǔ)器測(cè)試平臺(tái)Kalos 2等產(chǎn)品。
　　Credence亞洲區(qū)總經(jīng)理Peter Zung說(shuō)："Credence的產(chǎn)品以性價(jià)比高為主要特點(diǎn),由于公司專(zhuān)注于ATE市場(chǎng),順應(yīng)市場(chǎng)變化而將產(chǎn)品轉(zhuǎn)向的速度更快,平臺(tái)的更新也較競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手有更高的頻率。"在一些價(jià)格敏感的測(cè)試領(lǐng)域,為了降低測(cè)試成本,延長(zhǎng)測(cè)試設(shè)備的使用時(shí)間,同時(shí)縮短測(cè)試周期, Credence的同一平臺(tái)測(cè)試產(chǎn)品擁有多種測(cè)試儀器供用戶選擇,單個(gè)芯片的測(cè)試成本有時(shí)可低至幾分錢(qián),而Credence在儀器設(shè)計(jì)階段就以"用戶能使用10年"為標(biāo)準(zhǔn),保證了設(shè)備的使用壽命。江蘇長(zhǎng)電等國(guó)內(nèi)大型半導(dǎo)體制造與封裝公司已購(gòu)買(mǎi)了Credence的多臺(tái)ATE測(cè)試儀。
　　混合信號(hào)和無(wú)線部門(mén)副總裁兼總經(jīng)理Larry Dibattista擁有多項(xiàng)ASL平臺(tái)的研發(fā)專(zhuān)利,而Credence在模擬和混合信號(hào)測(cè)試平臺(tái)中達(dá)百萬(wàn)美元的研發(fā)投入也保證了這一平臺(tái)10年中 市場(chǎng)份額上一直領(lǐng)先于同類(lèi)測(cè)試平臺(tái)。
　　Credence在SEMICON China期間同時(shí)宣布其中國(guó)公司正式成立。2003年整個(gè)ATE市場(chǎng)的上升幅度達(dá)到了58％,中國(guó)在全球半導(dǎo)體市場(chǎng)的異軍突起也非常令人矚目, 這些都吸引了Credence此時(shí)加大了對(duì)中國(guó)市場(chǎng)的投入。
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　　DEK：以高端產(chǎn)品瞄準(zhǔn)未來(lái)市場(chǎng)
　　DEK在SEMICON China 期間展示了新型高端微米級(jí)絲網(wǎng)印刷機(jī)--Galaxy。這個(gè)嶄新的平臺(tái)能滿足未來(lái)先進(jìn)半導(dǎo)體封裝和SMT裝配的速度和精度的要求。Galaxy的出現(xiàn)意味著半導(dǎo)體封裝工藝可立即受惠于她的先進(jìn)電機(jī)控制和機(jī)器視覺(jué)功能,全面配合量產(chǎn)化芯片級(jí)封裝（CSP）生產(chǎn)的進(jìn)一步發(fā)展