產(chǎn)品詳情
半導(dǎo)體制造是極其精密的工藝，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度、化學(xué)純度和溫度有近乎苛刻的要求。PTFE（聚四氟乙烯）因其獨(dú)特的性能，成為制造這類器件的理想選擇：
1.極高的化學(xué)穩(wěn)定性：
PTFE幾乎不受任何化學(xué)試劑的腐蝕，包括強(qiáng)酸（硫酸、硝酸）、強(qiáng)堿、強(qiáng)氧化劑和有機(jī)溶劑。
在濕法制程（如清洗、蝕刻）中，花籃需要長(zhǎng)時(shí)間浸泡在各種高純度、高腐蝕性的化學(xué)藥液中。使用PTFE可以確?；ɑ@本身不被腐蝕，從而避免污染藥液和硅片。
2.極低的表面能和防粘性：
PTFE表面非常光滑，具有“不粘性”。
這可以防止硅片與花籃粘附，便于硅片的取放。同時(shí)，也使得附著在花籃表面的污染物（如顆粒、金屬離子）更容易被清洗掉，保證了極高的潔凈度。
3.高純度與低析出：
半導(dǎo)體級(jí)的PTFE經(jīng)過(guò)特殊處理，其本身含有的金屬離子雜質(zhì)和顆粒物極低。
在超純凈的環(huán)境中，它不會(huì)析出污染物，避免了這些污染物在高溫或化學(xué)作用下轉(zhuǎn)移到硅片上，影響芯片的性能和良率。
4.優(yōu)異的熱穩(wěn)定性：
PTFE能在-200°C至+250°C的溫度范圍內(nèi)長(zhǎng)期工作。
其出色的絕緣性能避免了靜電對(duì)敏感電路的影響。
二、.在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用場(chǎng)景
四氟花籃帶提手主要用于半導(dǎo)體前道工藝的濕法加工區(qū)域，具體包括：
清洗工序：用于去除硅片表面的顆粒、有機(jī)物和金屬污染物。
蝕刻工序：在化學(xué)藥液中精確地去除特定的材料層。
去膠工序：去除光刻后留下的光刻膠。
濕法擴(kuò)散/薄膜前后的傳輸和暫存。
在這些工序中，花籃會(huì)帶著硅片一起浸入化學(xué)槽、超純水清洗槽和干燥設(shè)備中。提手的設(shè)計(jì)方便了自動(dòng)化機(jī)械臂或操作員進(jìn)行跨槽、跨設(shè)備的搬運(yùn)。
