產(chǎn)品詳情
IPV，3PV，APC類(lèi)型
·一步到位的精準(zhǔn)動(dòng)作。
·簡(jiǎn)單，構(gòu)成組件少，擁有緊湊型節(jié)省空間的設(shè)計(jì)。
·標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格擁有50萬(wàn)次動(dòng)作的設(shè)計(jì)壽命，高耐久，無(wú)需檢修的設(shè)計(jì)。
·閥體的密封件一律采用O型圈。為降低成本做出貢獻(xiàn)。
·閥體的拆解只需松開(kāi)1根螺栓即可。
APC控制盒
·搭載可以計(jì)算出腔室容積的LEARN功能。
·可實(shí)現(xiàn)高速的正確壓力控制，位置控制。
·可同時(shí)連接2臺(tái)壓力傳感器。
·排氣系列門(mén)閥：真空泵－腔室之間的門(mén)閥，也有作為控制壓力的閥門(mén)使用。
·搬運(yùn)系列門(mén)閥：作為各作業(yè)（晶片或玻璃基板e(cuò)tc）的出入口，用于空氣－腔室之間的隔斷。
半導(dǎo)體?液晶屏制造裝置
半導(dǎo)體?液晶屏制造裝置
用真空門(mén)閥的應(yīng)用案例介紹
用真空門(mén)閥的應(yīng)用案例介紹
Exhaust System Gate Valve
（Penduroll Valve）
·和APCPenduroll閥配合可以實(shí)現(xiàn)電導(dǎo)系數(shù)到0的控制。
