產(chǎn)品詳情
多弧離子鍍膜設(shè)備 工具鍍
技術(shù)參數(shù):
▲夾具方式:采用公自轉(zhuǎn)行星式齒輪結(jié)構(gòu),工件速度在1-15轉(zhuǎn)/分鐘可調(diào)。
▲控制氣體方式:采用質(zhì)量流量計(jì)控制,進(jìn)氣穩(wěn)定,反映速度快。
▲靶:采用整體制造技術(shù),嚴(yán)格縝密的磁場(chǎng)設(shè)計(jì)和磁場(chǎng)布局,濺射刻蝕均勻。
▲電源:配置有高頻直流電源(20KW、40KW等規(guī)格)、直流脈沖電源(電壓、占空比可調(diào)節(jié)),逆變電弧電源,并可根據(jù)實(shí)際的情況加裝離子源等輔助設(shè)施。
▲抽氣系統(tǒng):采用國(guó)產(chǎn)品牌機(jī)械泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵,根據(jù)其真空室大小確定合理型號(hào)。也可以根據(jù)客戶的需要配備分子泵或者進(jìn)口泵等。
▲抽真空參數(shù):從大氣抽至5*10‾³Pa≤15min 極限真空度8*10‾4Pa 控制系統(tǒng)


