歐姆龍成功事例 | 涂膠顯影熱盤多區(qū)高速同步均溫控制方案
應用介紹
【行業(yè)】semi
【設備】涂膠顯影
【用途】通過機械手在各系統(tǒng)間傳輸和處理，從而完成晶圓的光刻膠涂覆、固化、烘烤、顯影、堅膜等工藝
應用場景
對晶圓加工的熱盤進行多溫區(qū)同步控溫。
解決課題
1、客戶設備處在潔凈室內，柜內空間有限，需要節(jié)省空間。
2、為了保證半導體晶圓的品質(熱盤溫度不均可能導致晶圓變形等不良），需要熱盤整體高速同步升溫，熱盤各個區(qū)域溫度保持一致。
價值提案
核心產品：溫度控制單元 nx-tc
價值點1.
每臺單元支持8ch控制,僅30mm寬度，大大節(jié)省面積。同時搭配小型連接器端子臺xw2k，進一步節(jié)省空間。
價值點2.
通過溫度均一fb實現(xiàn)高速設定且可保存多種配方，實現(xiàn)針對多種對象的均勻加熱的自動補償算法及溫度均一控制技術。各分區(qū)控溫精度達到了±0.1℃，溫度均一性達到了r=0.27。
相關產品
nx系列 高性能溫控單元 nx-htc
https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3902/
如果您對本產品感興趣，歡迎掃碼留下您的聯(lián)系方式，我們將盡快與您聯(lián)絡！
更多詳情請點擊了解
本文標簽：歐姆龍成功事例 | 涂膠顯影熱盤多區(qū)高速同步均溫控制方案
* 由于無法獲得聯(lián)系方式等原因，本網使用的文字及圖片的作品報酬未能及時支付，在此深表歉意，請《歐姆龍成功事例 | 涂膠顯影熱盤多區(qū)高速同步均溫控制方案》相關權利人與機電之家網取得聯(lián)系。
關于“歐姆龍成功事例 | 涂膠顯影熱盤多區(qū)高速同步均溫控制方案”的更多資訊
：鞏經理
：13915946763
：南京塞姆泵業(yè)有限公司
