TFT-LCD產(chǎn)業(yè)已形成了十多年,由九十年代初的第1代線(300×400mm)發(fā)展到現(xiàn)在的第7代線(1870×2200mm),三星已宣布建第8代線(2300×2600mm),其發(fā)展速度是驚人的。圖2給出了1998年~2006年TFT-LCD實際產(chǎn)能的變化(考慮了合格率的因素)。

縱觀整個產(chǎn)業(yè),大體上以第5代線(1100×1300mm)為分界線,分成兩大部分：即1代線到4.5代線和5代線到8代線。之所以將第5代線作為分界線是基于以下兩個因素：

(1) 從1代線到4.5代線各代線之間玻璃基板尺寸增加不大,1代線(0.12m2)→2代線(0.17m2)→3代線(0.36m2)→4代線(0.60m2)→4.5代線(0.67m2)但5代線比4.5代線玻璃基板面積陡然增大1倍多,達到1.43m2,以后幾代線面積增長更快,6代線(2.78m2)→7代線(4.11m2)→8代線(5.98m2)。由于基板面積大幅增加,導致設備變得龐大,6代線的PECVD已重達40噸,占地面積約一百平方米。高世代TFT-LCD工廠事實上已經(jīng)成了名副其實的重工業(yè)。據(jù)了解,6代以上線的大型設備已經(jīng)無法整體運輸,必須在TFT-LCD工廠內(nèi)組裝,這樣一來,TFT-LCD生產(chǎn)線的投資大幅增加,直逼乃至超越晶圓廠的投資。各代線(含彩色濾光片)的投資粗略估算如下：

5代線  12億美元

6代線  20億美元         

7代線  25~30億美元

8代線  35~40億美元

這樣大規(guī)模的投資成了近年來全世界高新技術發(fā)展的一大亮點。