MEMS壓力傳感器的校準方法如何選擇？

　　據(jù)麥姆斯咨詢介紹，測量儀器的價值由其準確性決定。壓力傳感器也算是一種測量“儀器”，在汽車、醫(yī)療保健、工業(yè)中得到廣泛應用。在這些應用中，保證壓力傳感器的準確性對確保質(zhì)量控制、保證病人生命安全來講至關(guān)重要。

　　壓阻式壓力傳感器，具有快速響應、堅固耐用、量程范圍寬、溫度變化對壓力輸出影響小、準確度高等優(yōu)點，成為了當下測量儀器的流行選擇。但是，只要傳感器出現(xiàn)了均勻性問題、與溫度相關(guān)的誤差，那么就需進行校正或補償。

　　壓力傳感器的補償方法有兩種：主動式補償和被動式補償。被動式補償是通過在電阻的制造過程中對其進行修正完成，適用于工作在溫度變化小的環(huán)境下的壓力傳感器。對于溫度變化較大的環(huán)境，通過采用板載電路或微控制器來進行主動式補償。

　　這時，壓力傳感器周圍環(huán)境的溫度也需要通過溫度傳感器進行定期測量。再安裝到板載電路上，以校正與溫度相關(guān)的誤差（也稱為偏移量誤差，英文：offset）。這樣確保了壓力傳感器的溫度誤差接近于零，工作量程更寬，質(zhì)量更佳。

　　壓力傳感器的校準方法該如何選擇？

　　壓力傳感器的校準方法有兩種：（1）客戶自己對生產(chǎn)線中使用的壓力傳感器進行校準；（2）壓力傳感器制造商進行充分的補償，將預先校準過的傳感器交由客戶進行后續(xù)的集成。

　　客戶希望自己完成校準的緣由有很多。原因之一是客戶在最終成品中已安裝了微控制器，這種情況下，主動式校準可以通過微控制器完成。

　　客戶采用的傳感器封裝或組裝工序可能會將大量應力施加于壓力傳感器上。當這種情況發(fā)生時，已經(jīng)校準的壓力傳感器將因受到封裝工序的應力而產(chǎn)生額外的壓力顯示。增加的壓力將產(chǎn)生新的零點。

　　客戶自己做校準的缺點是在線校準很難執(zhí)行，并且它可能是高度破壞性的。購買已經(jīng)校準過的傳感器要比在線校準所花費的專業(yè)設(shè)備和經(jīng)驗成本要低一些。最致命的缺點是客戶自己做校準會浪費很多時間。因為每顆傳感器都需要單獨校準，不可能進行批量校準。此外，校準所需的溫度范圍意味著設(shè)備需要很長的時間才能達到所需的溫度極限。

　　從如Merit Sensor之類的制造商購買完全補償?shù)膲毫鞲衅?，價格比未做補償?shù)膫鞲衅髻F一些。但是，重要的是要權(quán)衡各方面因素，時間就是金錢，如果花費太多時間在校準上，購買已經(jīng)完全補償?shù)膲毫鞲衅骰蛘呖梢院唵蔚夭迦胧褂玫男试骷t不失為一種不錯的選擇！

　　這對于那些希望得到高產(chǎn)出的公司來說是理想的選擇，尤其是那些沒有設(shè)備、專業(yè)技能和流程來保證在線校準的公司。通常來講，壓力傳感器制造商有專業(yè)校準人員、工具和專業(yè)知識來完成校準。

　　Merit Sensor提供的定制化解決方案

　　LP系列是Merit Sensor公司為超低壓力應用提供的壓力傳感器，涉及各種量程范圍。這種類型的傳感器很適合用于如持續(xù)氣道正壓通氣（CPAP）機的應用，因為該系列適合使用非腐蝕性氣體。LP系列提供了預校準的選項，這意味著壓力傳感器可立即用于醫(yī)療使用。也同樣適用于工業(yè)應用，以及醫(yī)療保健應用的空氣過濾系統(tǒng)和肺活量測量。

　　Merit Sensor推出的PMD系列適用于中低壓力的應用。PMD系列適用于空氣和其他非腐蝕性液體。該系列還能夠測量差壓、絕對壓力和真空度。PMD系列是打印機中油墨液位最理想的壓力傳感器選擇，可工作在0.34——3.5大氣壓力范圍內(nèi)。在這項應用中，因為使用了外部微處理器，校準快速且直接。無補償?shù)腜MD系列也是非常受歡迎的產(chǎn)品。

　　TVC系列適用于如高溫燃油等嚴苛的介質(zhì)環(huán)境。該系列的介質(zhì)電阻高，是汽車行業(yè)的最佳選擇。器件采用徑向密封，有助于模塊級的集成，以最小限度地引入應力。

　　完全補償?shù)膫鞲衅黝H受汽車應用的歡迎，因為其將耗時、超出的溫度范圍的校準集成到生產(chǎn)過程中，汽車行業(yè)的客戶可不受這些問題的困擾。

　　在過去的25年中，Merit Sensor在壓阻式壓力傳感器領(lǐng)域積累了豐富的經(jīng)驗。需要用壓力傳感器的客戶，不妨選擇Merit Sensor的產(chǎn)品。Merit Sensor為各種各樣的應用提供標準和定制化的解決方案。Merit Sensor還可以提供未補償?shù)?、被動式補償?shù)脑骷囟确秶兓^小的應用；以及完全補償?shù)脑骷囟确秶兓^大的應用。

　　如果客戶無法確定哪種解決方案是最合適的，那么Merit Sensor可以提供幫助。Merit Sensor會為客戶提供時間、人員和培訓支持，以找到靈活和創(chuàng)新的解決方案，幫助客戶將產(chǎn)品成功推進市場。