中科科儀：中國尖端科學(xué)儀器裝備與真空技術(shù)引領(lǐng)者

尖端科學(xué)儀器裝備的研發(fā)能力代表著一個(gè)國家的科學(xué)技術(shù)水平，更影響、推動(dòng)著社會(huì)不斷進(jìn)步。

數(shù)十年來，我國一代代科研與產(chǎn)業(yè)化工作者投身其中，一次次創(chuàng)造輝煌，蛻變重生。70年代我國第一臺(tái)掃描電子顯微鏡、第一臺(tái)渦輪分子泵、第一臺(tái)商用氦質(zhì)譜檢漏儀……這些令國人引以為豪的成就，都來自這家位于海淀區(qū)的企業(yè)——北京中科科儀股份有限公司。

勵(lì)精圖治數(shù)十載，譜寫科儀新篇章

北京中科科儀股份有限公司(簡稱：中科科儀)，前身為中國科學(xué)院科學(xué)儀器廠，成立于1958年，曾為我國“東方紅一號(hào)”衛(wèi)星的研制做出重要貢獻(xiàn)，是中國科學(xué)院第一家整體轉(zhuǎn)改制單位。

歷經(jīng)六十余年的發(fā)展，中科科儀始終致力于電子光學(xué)和真空技術(shù)領(lǐng)域，承擔(dān)了多個(gè)國家重要科研攻關(guān)項(xiàng)目，研制出多項(xiàng)國內(nèi)首臺(tái)套產(chǎn)品，新產(chǎn)品研發(fā)成果始終代表中國高端電子光學(xué)儀器和真空技術(shù)最高水平。近年來，更是成功研制出國內(nèi)首臺(tái)場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡、首臺(tái)磁懸浮分子泵，均達(dá)到國際一流水平。

中科科儀先后獲評(píng)國家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)、國家級(jí)企業(yè)技術(shù)中心、國家級(jí)“專精特新”小巨人企業(yè)、國家級(jí)“單項(xiàng)冠軍”示范企業(yè)，是中國尖端科學(xué)儀器裝備與真空技術(shù)領(lǐng)軍者。

目前，中科科儀業(yè)務(wù)領(lǐng)域覆蓋掃描電子顯微鏡、氦質(zhì)譜檢漏儀等科學(xué)儀器設(shè)備和分子泵、真空應(yīng)用設(shè)備等核心零部件及產(chǎn)業(yè)設(shè)備，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于航空航天、半導(dǎo)體、汽車工業(yè)、新能源、新材料、節(jié)能環(huán)保等前沿科學(xué)研究和高端裝備制造領(lǐng)域。

掃描電鏡，打開微觀世界的大門

掃描電鏡全稱是掃描電子顯微鏡，被稱為科學(xué)界的“納米之眼”，同時(shí)也是科技日報(bào)列出的國家35項(xiàng)關(guān)鍵“卡脖子”技術(shù)之一。

作為一種高端通用大型科學(xué)儀器，是人類認(rèn)識(shí)、探索微觀世界最重要的工具，是肉眼觀察和光學(xué)顯微鏡觀測的延伸。人類眼睛的分辨率大約0.2毫米，可以看到一根頭發(fā)絲的粗細(xì)、一張紙的厚度;借助于光學(xué)顯微鏡可以看到0.2微米的這個(gè)尺度，可以看到細(xì)胞、細(xì)菌的結(jié)構(gòu)等;而借助掃描電子顯微鏡，就可以觀察到納米級(jí)尺度，可以觀測到病毒、半導(dǎo)體器件的納米結(jié)構(gòu)等。

2014年，中科科儀依托一流的電子光學(xué)技術(shù)，成功研制我國首臺(tái)場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡，打破國際壟斷，達(dá)到國際一流水平。自問世以來，掃描電鏡廣泛應(yīng)用到材料科學(xué)、生命科學(xué)、航天航空、環(huán)境保護(hù)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域，解決微米至納米尺度的微觀形貌觀測以及微區(qū)成分分析問題，為我國前沿科學(xué)研究、重大工程和戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了重要支撐。

▲國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)成果——場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡

分子泵，打造超高真空環(huán)境

如今，很多大型的科學(xué)儀器和設(shè)備的運(yùn)行離不開超高真空環(huán)境，而要獲得潔凈的超高真空環(huán)境，需要一個(gè)特殊的超高真空獲得核心部件——分子泵。

分子泵是科學(xué)儀器、前沿科學(xué)裝置和產(chǎn)業(yè)裝備等不可或缺的核心零部件，為科研、生產(chǎn)等環(huán)節(jié)提供必要的潔凈、超高真空環(huán)境。在日常生活中人們看到的建筑外墻low-e玻璃、電子屏幕的生產(chǎn)制造，以及半導(dǎo)體等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)的各生產(chǎn)工藝環(huán)節(jié)，都依賴于分子泵獲得的超高真空環(huán)境。

2011年，中科科儀依托一流的超高真空獲得技術(shù)，成功研制我國首臺(tái)磁懸浮分子泵，解決半導(dǎo)體前道工藝與科學(xué)研究裝備超高真空獲得核心部件國產(chǎn)化需求，打破國際壟斷，達(dá)到一流水平。

▲國家科技重大專項(xiàng)成果——磁懸浮分子泵

真空系統(tǒng)集成裝備，服務(wù)國家重大工程

依托一流真空系統(tǒng)開發(fā)與設(shè)備集成能力，科儀參與多項(xiàng)國家重點(diǎn)工程，提供定制化真空應(yīng)用系統(tǒng)解決方案，研制了一系列填補(bǔ)國內(nèi)空白的首臺(tái)套設(shè)備，服務(wù)高能同步輻射光源國家科技重大基礎(chǔ)設(shè)施、江門中微子實(shí)驗(yàn)室國家重點(diǎn)工程、天和核心艙和慧眼衛(wèi)星航天工程等重點(diǎn)工程建設(shè)。

▲中科科儀研制的三工位陰極轉(zhuǎn)移系統(tǒng)服務(wù)江門中微子實(shí)驗(yàn)室建設(shè)

世界正經(jīng)歷百年未有之大變局，新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革的廣度、深度、速度和精度前所未有，尖端科學(xué)儀器裝備與核心零部件的國產(chǎn)化機(jī)遇也前所未有。作為國家戰(zhàn)略科技力量投資興辦的企業(yè)，中科科儀始終涵養(yǎng)家國情懷、胸懷國之大者，秉承“創(chuàng)新科學(xué)儀器，發(fā)展一流企業(yè)”使命，以一流電子光學(xué)和真空技術(shù)，打造尖端科學(xué)儀器設(shè)備及高端裝備制造國家隊(duì)，為強(qiáng)化國家戰(zhàn)略科技力量、實(shí)現(xiàn)科技自立自強(qiáng)做出新的貢獻(xiàn)。