產(chǎn)品詳情
包括硅片清洗、脫水烘培、硅片成底膜三個(gè)步驟。哈默納科伺服關(guān)節(jié)諧波SHG-25-120-2UJ氣相成底膜采用濕法清洗和去離子水沖洗以去除玷污物,通過(guò)脫水烘培去除水汽,然后馬上用六甲基二硅烷(HMDS)進(jìn)行成底膜處理,它起到提高粘附力的作用。成底膜過(guò)程通常在如圖2.15所示自動(dòng)化軌道系統(tǒng)上與其他工藝按順序完成。
2.旋轉(zhuǎn)涂膠
光刻膠最基本的組成是有哈默納科伺服關(guān)節(jié)諧波SHG-25-120-2UJ機(jī)溶劑中的一種聚合物溶液。光刻膠的物理特性包括分辨率、對(duì)比度、敏感度、粘滯性、粘附性、抗蝕性、表面張力、存儲(chǔ)與傳送特性、玷污和哈默納科伺服關(guān)節(jié)諧波SHG-25-120-2UJ顆粒控制等。光刻膠主要有兩個(gè)作用:將掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到光刻膠上



