產(chǎn)品詳情
愛德華干式真空泵：零油污染，適配半導(dǎo)體、質(zhì)譜與航天測試，磁懸浮技術(shù)壽命超10萬小時
性能特點與核心優(yōu)勢
1. 零油污染，潔凈真空革命
- 干式無油運行：采用非接觸式螺桿與爪式壓縮技術(shù)，完全摒棄潤滑油，避免油蒸氣反流污染真空腔體，滿足半導(dǎo)體制造、質(zhì)譜分析等對潔凈度要求嚴(yán)苛的場景。
- 低顆粒物釋放：精密加工腔體與表面硬化涂層工藝，減少摩擦微粒產(chǎn)生，保障航天器真空測試中敏感元件的安全性。
2. 磁懸浮技術(shù)驅(qū)動長效壽命
- 超10萬小時連續(xù)運行：磁懸浮軸承消除機械磨損，對比傳統(tǒng)油潤滑泵壽命提升3倍以上，顯著降低設(shè)備停機與維護成本。
- 低振動與低噪音：主動磁懸浮控制技術(shù)抑制轉(zhuǎn)子振動，噪音低于65dB，適配實驗室、無塵車間等安靜環(huán)境需求。
3. 高效節(jié)能與智能控制
- 變頻節(jié)能技術(shù)：根據(jù)負載動態(tài)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，能耗較傳統(tǒng)泵降低40%，支持企業(yè)ESG（環(huán)境、社會與治理）目標(biāo)達成。
- IoT智能監(jiān)控：內(nèi)置傳感器實時反饋壓力、溫度、振動數(shù)據(jù)，支持云端接入與異常預(yù)警，實現(xiàn)預(yù)防性維護。
4. 多行業(yè)兼容性
- 適配寬泛壓力范圍（10?? mbar至大氣壓），可集成至半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備、質(zhì)譜儀離子源、航天器真空熱試驗艙等多樣化系統(tǒng)。
行業(yè)應(yīng)用場景
1. 半導(dǎo)體芯片制造
- 用于刻蝕機、CVD/PVD鍍膜設(shè)備，避免油污染導(dǎo)致的晶圓缺陷，提升28nm以下先進制程良率。
2. 質(zhì)譜分析儀器
- 為質(zhì)譜儀離子源與檢測器提供穩(wěn)定無油真空環(huán)境，確保痕量氣體檢測的精準(zhǔn)度與重復(fù)性。
3. 航天器真空熱試驗
- 在衛(wèi)星、火箭組件真空熱試驗中耐受極端溫度循環(huán)（-150℃至+120℃），保障測試可靠性。
4. 制藥與生物工程
- 支持凍干機、無菌灌裝線的潔凈真空需求，符合GMP認證標(biāo)準(zhǔn)。
愛德華干式真空泵以零污染、超長壽命與多場景適配性，成為高附加值產(chǎn)業(yè)的真空技術(shù)選擇
- 技術(shù)領(lǐng)先性：磁懸浮技術(shù)突破傳統(tǒng)泵壽命瓶頸，MTBF（平均無故障時間）達行業(yè)頂尖水平。
- 全流程潔凈保障：從芯片制造到藥品封裝，徹底消除油污染風(fēng)險，降低產(chǎn)品報廢率。
- 全生命周期成本優(yōu)勢：10萬小時免維護設(shè)計+智能節(jié)能系統(tǒng)，幫助客戶降低30%以上綜合運營成本。
- 全球化技術(shù)支持：愛德華提供定制化真空方案設(shè)計與快速備件供應(yīng)，覆蓋歐洲、亞洲、美洲主要工業(yè)區(qū)。
