產(chǎn)品詳情
愛(ài)德華超高真空潔凈度與耐高溫設(shè)計(jì)，賦能精密覆層工藝真空泵
覆層工藝核心需求與挑戰(zhàn)
1. 工藝關(guān)鍵要求：
- 極限真空環(huán)境：PVD鍍膜需10??~10?? mbar真空度，確保靶材粒子均勻沉積；CVD工藝需快速抽除反應(yīng)副產(chǎn)物氣體。
- 零污染保障：杜絕油蒸氣或微粒污染基材表面，防止涂層出現(xiàn)針孔、剝離等缺陷。
- 耐高溫與耐腐蝕：耐受CVD反應(yīng)室高溫（300~1200℃）、等離子體轟擊及腐蝕性氣體（如Cl?、SiH?）。
2. 傳統(tǒng)痛點(diǎn)：
- 油潤(rùn)滑泵反流污染導(dǎo)致涂層附著力下降（如工具鍍TiN層硬度波動(dòng)±20%）。
- 高溫工況下潤(rùn)滑油碳化堵塞泵體，增加維護(hù)頻率與成本。
- 抽速不足延長(zhǎng)工藝周期，影響產(chǎn)能與能耗效率。
愛(ài)德華真空泵解決方案與適配型號(hào)
1. 干式真空泵系列（前級(jí)無(wú)油抽氣）
- 適用型號(hào)：
- Edwards iXM系列磁懸浮爪式泵
- 真空范圍：10?2 mbar
- 抽速：200~1500 m3/h，適配大型磁控濺射、電弧離子鍍?cè)O(shè)備
- 技術(shù)亮點(diǎn)：磁懸浮軸承實(shí)現(xiàn)10萬(wàn)小時(shí)免維護(hù)，耐等離子體粉塵沉積。
- Edwards nXRV系列耐腐蝕液環(huán)泵
- 真空范圍：10~1013 mbar
- 抽速：50~2000 m3/h，適配CVD工藝尾氣處理（如SiCl?、NH?）
- 技術(shù)亮點(diǎn)：哈氏合金葉輪+碳化硅密封，耐受pH 1~14強(qiáng)腐蝕工況。
2. 渦輪分子泵系列（高真空核心）
- 適用型號(hào)：
-Edwards STP系列磁懸浮分子泵
- 真空度：10?? mbar
- 抽速：450~1800 L/s，適配高精度光學(xué)鍍膜（AR/IR濾光片）
- 技術(shù)亮點(diǎn)：零振動(dòng)設(shè)計(jì)，膜層均勻性誤差＜0.1%。
- Edwards EXT255HT高溫分子泵
- 真空度：10?? mbar
- 抽速：255 L/s（N?），適配高溫CVD金剛石涂層、半導(dǎo)體ALD設(shè)備
- 技術(shù)亮點(diǎn)：耐溫150℃，全金屬密封抗熱沖擊。
性能優(yōu)勢(shì)與工藝價(jià)值
1. 涂層質(zhì)量革命性提升
- 無(wú)油設(shè)計(jì)將PVD鍍膜表面缺陷率降低至＜0.01%（傳統(tǒng)油泵＞0.5%），提升刀具、模具涂層壽命30%~50%。
- STP分子泵振動(dòng)抑制技術(shù)保障光學(xué)鍍膜波長(zhǎng)精度±0.5nm，滿足激光雷達(dá)、航天光學(xué)鏡片標(biāo)準(zhǔn)。
2. 生產(chǎn)效率與成本優(yōu)化
- iXM系列快速抽氣技術(shù)縮短腔體準(zhǔn)備時(shí)間40%（如10?? mbar真空達(dá)成時(shí)間從2小時(shí)縮至1.2小時(shí)）。
- 耐腐蝕設(shè)計(jì)減少CVD尾氣處理泵體更換頻率，年維護(hù)成本降低60%。
3. 極端工況適應(yīng)性
- EXT255HT分子泵耐受SiC外延生長(zhǎng)工藝的1600℃輻射熱，真空穩(wěn)定性波動(dòng)＜±1%。
- nXRV液環(huán)泵處理蝕刻氣體（如CF?）時(shí)，耐腐蝕壽命達(dá)傳統(tǒng)泵3倍以上。
4. 智能化與節(jié)能特性
- 集成IoT系統(tǒng)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)泵體溫度、振動(dòng)，預(yù)測(cè)性維護(hù)減少非計(jì)劃停機(jī)70%；
- 磁懸浮技術(shù)節(jié)能模式下功耗降低45%，單臺(tái)年省電費(fèi)超5萬(wàn)元（以24/5運(yùn)行計(jì)）。
典型應(yīng)用場(chǎng)景
1.半導(dǎo)體薄膜沉積
- ALD原子層沉積：STP分子泵為12英寸晶圓提供10?? mbar潔凈真空，確保HfO?高介電常數(shù)薄膜厚度均勻性≤±1?。
-MOCVD氮化鎵外延：iXM+nXRV組合快速抽除NH?、TMGa副產(chǎn)物，提升LED外延片波長(zhǎng)一致性。
2. 工具與模具涂層
- DLC類金剛石涂層：EXT255HT分子泵維持10?? mbar真空，實(shí)現(xiàn)摩擦系數(shù)＜0.1的超硬涂層（硬度≥4000 HV）。
- CrN刀具鍍層：干式泵無(wú)油污染保障涂層結(jié)合力＞100N（ISO 26443標(biāo)準(zhǔn)），延長(zhǎng)鉆頭壽命3倍。
3. 光學(xué)與顯示鍍膜
- OLED蒸鍍：STP分子泵10?? mbar真空環(huán)境減少有機(jī)材料熱分解，提升器件發(fā)光效率至150 lm/W。
- 光伏減反射膜：iXM泵組適配卷繞式鍍膜機(jī)，支持1.5m寬幅柔性基材連續(xù)鍍膜，產(chǎn)能提升25%。
愛(ài)德華真空泵以極限潔凈真空與極端工況可靠，重塑覆層工藝標(biāo)桿：
- 技術(shù)壁壘：磁懸浮+全干式技術(shù)突破傳統(tǒng)油泵污染瓶頸，助力5nm以下半導(dǎo)體器件與超硬涂層量產(chǎn)。
- 良率與成本雙贏：涂層缺陷率降低至ppm級(jí)，設(shè)備綜合能效（OEE）提升20%，年節(jié)省成本超200萬(wàn)元（以中型產(chǎn)線計(jì)）。
- 合規(guī)性保障：符合SEMI S2/S8、ISO 14001國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，支持碳足跡追溯。
- 全球化服務(wù)網(wǎng)絡(luò)：提供鍍膜工藝真空仿真、泵組集成驗(yàn)證與7×24小時(shí)本地化技術(shù)支持。
