| 光電轉(zhuǎn)換部分 | |
| HARP膜厚（μm) | 0.4（加電壓60V） |
| 雪崩倍增 | 5倍 |
| 有效圖像面積（mm) | 2.25×2.25 |
| 固體掃描部分 | |
| 器件結(jié)構(gòu) | 高耐壓MOS開關(guān)陣列 |
| 光電變換膜與MOS開關(guān)陣列的連接尺寸（μm) | 10(縱）×10（橫）×5（高）（銦柱倒裝互連） |
| 像元尺寸（μm2) | 17.6×17.6 |
| 像元數(shù) | 128×128 |
| 芯片尺寸（mm2) | 3.75×3.75 |
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