精工愛普生公司（Seiko Epson）與JSR公司共同開發(fā)了一種采用液態(tài)涂布和噴墨成形工藝的硅薄膜。這種硅薄膜是一種低溫多晶硅TFT（薄膜晶體管）,其性能可與采用傳統(tǒng)CVD（化學氣相沉積）方法生產(chǎn)的薄膜相媲美。這種新型材料是一種氫和硅的高級硅烷混合物,它可以被有機溶劑溶解。

　　為了得到一種硅薄膜,開發(fā)人員將材料旋轉(zhuǎn)涂覆在一個基底上,并在一種惰性氣體中進行烘烤。在這個過程中電子的流動性達到108cm²/Vsec。利用噴墨方法形成的硅薄膜形式的TFT原型可實現(xiàn)6.5cm²/Vsec的流動性,比旋轉(zhuǎn)涂布的圖形更好。其最終目標應用包括液晶電視和噴墨打印機。