Agilent在展會(huì)期間宣布,為單芯片系統(tǒng)(SOC)、閃存和參數(shù)測(cè)試提供新型的測(cè)試解決方案。并將在Versatest內(nèi)存測(cè)試系列中增加一款新產(chǎn)品—— Agilent V4000,同時(shí)將推出為中國(guó)市場(chǎng)量身定制的新型參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)。Agilent Versatest V4000,讓工程師在辦公室桌面上即可完成代碼驗(yàn)證。安捷倫科技半導(dǎo)體測(cè)試事業(yè)部上海分公司總經(jīng)理于慶鎖介紹,V4000是一套完整的單一平臺(tái)系統(tǒng),適用于從工程開(kāi)發(fā)到大批量生產(chǎn)的完整流程,通過(guò)使用與生產(chǎn)測(cè)試系統(tǒng)相同的Site模塊和軟件,讓工程師在桌面上或在分布式工作環(huán)境中開(kāi)發(fā)測(cè)試腳本,而不會(huì)降低性能及兼容性。
省錢的解決方案
提高自身的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力,降低成本,提高產(chǎn)出是各半導(dǎo)體制造廠與封裝廠追求的目標(biāo)。設(shè)備廠商也在性價(jià)比方面潛心鉆研,為制造廠商提供了多種省錢的方法。
致力于為用戶提供低成本測(cè)試解決方案的Credence提出了設(shè)備“能滿足用戶10年需求”的概念。Credence亞洲區(qū)總經(jīng)理Peter Zung說(shuō)：“Credence在儀器設(shè)計(jì)階段就以用戶能使用10年為標(biāo)準(zhǔn)。”保證了設(shè)備的使用壽命,設(shè)備的折舊就得到了有效的降低。在一些價(jià)格敏感的測(cè)試領(lǐng)域,為了降低測(cè)試成本,延長(zhǎng)測(cè)試設(shè)備的使用時(shí)間,同時(shí)縮短測(cè)試周期,Credence的同一平臺(tái)測(cè)試產(chǎn)品擁有多種測(cè)試儀器供用戶選擇,單個(gè)芯片的測(cè)試成本有時(shí)可低至幾分錢。Credence的產(chǎn)品以性價(jià)比高為主要特點(diǎn),由于公司專注于ATE市場(chǎng),順應(yīng)市場(chǎng)變化而將產(chǎn)品轉(zhuǎn)型的速度更快,平臺(tái)的更新也較競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手有更高的頻率。
Peter Zung （Credence）：在儀器設(shè)計(jì)階段就以用戶能使用10年為標(biāo)準(zhǔn),能有效降低測(cè)試成本。
如何通過(guò)減少設(shè)備的采購(gòu)、減少后期的維護(hù)與運(yùn)營(yíng)成本而達(dá)到更好的檢測(cè)效果也是晶圓廠追求的目標(biāo)。此次Applied Materials在SEMICON China期間重點(diǎn)介紹的ComPlus晶圓圖像檢測(cè)系統(tǒng)即是對(duì)這一追求理念的體現(xiàn)。ComPlus是針對(duì)90nm~45nm技術(shù)而設(shè)計(jì)的,用于光刻后線寬的檢測(cè)。ComPlus采用全自動(dòng)化操作,可以7天24小時(shí)運(yùn)行,避免了人為因素的影響。同時(shí)由于提高了設(shè)備的重復(fù)性和穩(wěn)定性,使設(shè)備之間的誤差降低到了1nm以下,從而避免了不同系統(tǒng)間檢測(cè)的差異,解決了光刻后檢測(cè)的瓶頸。自動(dòng)化與系統(tǒng)的高重復(fù)和穩(wěn)定性保證了晶圓廠可以使用更少的設(shè)備進(jìn)行檢測(cè)。“全部采用ComPlus作為檢測(cè)設(shè)備后,與同類產(chǎn)品相比可節(jié)省30％的設(shè)備數(shù)量,同時(shí)減少占地面積,減少操作人員。而且由于設(shè)計(jì)水平已達(dá)到45nm,所以既使在領(lǐng)先的晶圓廠,其使用壽命也將在5年以上�！�
Advanced Energy為了降低了產(chǎn)品的制造成本,已于2003年初在深圳設(shè)立了制造廠,到2004年底,該公司70％的電源和流量計(jì)產(chǎn)品都將在深圳生產(chǎn)�！半m然Advanced Energy的主要客戶是設(shè)備OEM廠商,如Applied Materials、Lam Research、Novellus等公司,但在中國(guó)生產(chǎn)的成本降低遠(yuǎn)大于運(yùn)輸?shù)荣M(fèi)用,而且可以為中國(guó)客戶提供最有價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)力的高質(zhì)量產(chǎn)品�！� Advanced Energy執(zhí)行副總裁兼市場(chǎng)官員Craig Jeffries說(shuō)。
FSI也以化學(xué)品消耗少、產(chǎn)量高、靈活性高,使用成本低,一個(gè)系統(tǒng)可以使用多種技術(shù)為追求目標(biāo)。FSI主席兼首席執(zhí)行官Don Mitchell說(shuō)：“Mercury系統(tǒng)在中國(guó)的大量使用,正好說(shuō)明了我們?cè)谥袊?guó)芯片制造商降低成本中所起的作用,因?yàn)槭褂肍SI設(shè)備的中國(guó)工廠都享受到低運(yùn)行成本和低風(fēng)險(xiǎn)的好處�！�
外延設(shè)備供應(yīng)商LPE和刻蝕與清洗設(shè)備供應(yīng)商Stangl由于主要為研究所或分立元器件或6寸以下半導(dǎo)體制造公司提供小型化或簡(jiǎn)單設(shè)備,準(zhǔn)確的市場(chǎng)定位避免了為設(shè)備配置不必要的功能,與一些小型化的二手設(shè)備相比,他們的設(shè)備性能更高,技術(shù)更新,也是一些客戶省錢的選擇之一。
一些中國(guó)臺(tái)灣、新加坡和為數(shù)不多的中國(guó)本土廠商的展臺(tái)前也經(jīng)常是人頭攢動(dòng)。相對(duì)于歐美公司,他們的產(chǎn)品更具有成本優(yōu)勢(shì)。臺(tái)灣漢民（Hermes-Epitek）的電子束檢測(cè)等設(shè)備、新加坡奕力（ellipsiz）的半導(dǎo)體制造解決方案、三佳集團(tuán)的封裝模具設(shè)備都成為了觀眾關(guān)注的熱點(diǎn)。
GE Global Electronics Solutions中國(guó)區(qū)高級(jí)設(shè)備銷售經(jīng)理吳應(yīng)煌還向中國(guó)客戶推薦了一種“設(shè)備租賃”的國(guó)際模式,即不用花太多的錢租賃新設(shè)備,保持技術(shù)的領(lǐng)先性,租賃1~3年后再換更新的設(shè)備。這種模式在一些國(guó)際領(lǐng)先的半導(dǎo)體廠有成功的應(yīng)用范例,而當(dāng)中國(guó)的技術(shù)水平提高后,也將是一種保持技術(shù)領(lǐng)先性的省錢的解決方案�！笆褂枚衷O(shè)備在產(chǎn)品和技術(shù)還不確定的情況下是一種非常好的解決方案,業(yè)界應(yīng)該轉(zhuǎn)變使用二手設(shè)備代表技術(shù)落后的負(fù)面反應(yīng)。”吳應(yīng)煌說(shuō)。
e化服務(wù)
7×24的生產(chǎn)需要7×24的產(chǎn)品支持,以確保設(shè)備正常運(yùn)行時(shí)間的最大化。KLA-Tencor引入了在線支持的功能－iSupport,在提供傳統(tǒng)現(xiàn)場(chǎng)專家服務(wù)的基礎(chǔ)上提供7×24的在線技術(shù)專家支持。本地化語(yǔ)言,以及遠(yuǎn)程診斷等功能均被嵌入到了每一套KLA-Tencor設(shè)備中。前20位半導(dǎo)體制造商中有17家正在使用iSupport功能。從反饋的情況來(lái)看,近30％的問(wèn)題完全可以利用iSupport解決,大于60％的問(wèn)題可以通過(guò)在線支持的協(xié)助而解決,因此有效的減少了現(xiàn)場(chǎng)工程師的診斷時(shí)間,加快了故障的排除。
伊智（Electroglas）在本屆展會(huì)上推出了基于網(wǎng)絡(luò)的工藝分析與控制軟件SORTmanager R4,它提供的網(wǎng)絡(luò)環(huán)境將晶圓探針臺(tái)與終測(cè)機(jī)械手設(shè)備連接到更廣泛的測(cè)試設(shè)備,然后通過(guò)網(wǎng)絡(luò)瀏覽器收集、分析重要的測(cè)試工藝信息,送給相關(guān)人員,迅速采取行動(dòng),以提供測(cè)試的總體效果,Electroglas亞洲區(qū)副總裁Dan Fields介紹說(shuō)。
合作打市場(chǎng)
中國(guó)半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)還處于起步階段,中國(guó)的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商正在采用與領(lǐng)先設(shè)備廠商合作的方法獲得相關(guān)技術(shù),利用自己的成本優(yōu)勢(shì),迅速進(jìn)入市場(chǎng)。
