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BOC EDWARDS為中國(guó)FAB提供集成解決方案
BOC EDWARDS為中國(guó)FAB提供集成解決方案
 更新時(shí)間:2008-8-17 20:18:03  點(diǎn)擊數(shù):5
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BOC Edwards宣布將為上海周邊的新半導(dǎo)體制造廠提供大批量氣體和特殊氣體輸運(yùn)系統(tǒng),以及化學(xué)試劑和研磨漿管理系統(tǒng)整體方案。服務(wù)包括設(shè)計(jì)、工程、安裝和啟動(dòng)等。與客戶簽署協(xié)議后,所有項(xiàng)目將都由BOC Edwards安排調(diào)度。
  目前有超過(guò)30種化學(xué)試劑和研磨漿系統(tǒng)可以提供給中國(guó)客戶,包括大批量化學(xué)試劑輸送、試劑混合,iSISTM2000研磨漿混合和分配系統(tǒng)以及 ChemControlTM可調(diào)控制系統(tǒng)等。BOC Edwards在中國(guó)已擁有10個(gè)主要半導(dǎo)體制造客戶,主要集中于上海和北京
。 

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