下一代小型化低功耗氣體傳感器的MEMS技術(shù)平臺(tái)

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，近日，領(lǐng)先的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）和傳感器代工廠Micralyne在日本“MEMS傳感和網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)展會(huì)”上展示了用于開發(fā)下一代氣體傳感器的MEMS技術(shù)平臺(tái)——標(biāo)準(zhǔn)的硅工藝技術(shù)和工藝模塊。該新平臺(tái)擴(kuò)展了Micralyne現(xiàn)有的標(biāo)準(zhǔn)MEMS模塊，并為設(shè)計(jì)人員提供了實(shí)現(xiàn)當(dāng)前氣體傳感器目標(biāo)市場所需的小型化、低功耗氣體檢測結(jié)構(gòu)的方案。

集成微型加熱板的金屬氧化物氣體傳感器，芯片尺寸為1.6mmx1.6mm

金屬氧化物氣體傳感器組件

氣體傳感器市場正在發(fā)生巨大變化，主要由大量的消費(fèi)類應(yīng)驅(qū)動(dòng)發(fā)展，例如應(yīng)用于物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域的各種智能家居和可穿戴設(shè)備，實(shí)現(xiàn)周圍環(huán)境空氣質(zhì)量的監(jiān)測?，F(xiàn)有的氣體檢測技術(shù)正在經(jīng)歷新的技術(shù)挑戰(zhàn)，如成本大幅下降、功率低、選擇性提高、不同類型的氣體檢測，以及較寬的工作溫度。

“Micralyne已經(jīng)看到了亞太地區(qū)客戶對小型氣體傳感器的需求增長，為了加速客戶的產(chǎn)品設(shè)計(jì)，我們開發(fā)了一套標(biāo)準(zhǔn)工藝，可以快速實(shí)現(xiàn)氣體傳感器的量產(chǎn)，這主要得益于我們在氣體傳感結(jié)構(gòu)方面的豐富經(jīng)驗(yàn)，以及十多年的薄膜流量傳感器的量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)。”Micralyne技術(shù)副總裁Collin Twanow說道，“我們很高興能夠與日本合作伙伴Adamant一起展示MEMS技術(shù)平臺(tái)?！?/span>

Micralyne的MEMS技術(shù)平臺(tái)提供MEMS設(shè)計(jì)的模塊化方法，并通過半定制設(shè)備快速實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品原型開發(fā)，加速度量產(chǎn)進(jìn)度，但不會(huì)犧牲產(chǎn)品的質(zhì)量和一致性。Micralyne從2006年開始就提供標(biāo)準(zhǔn)工藝和MEMS模塊，努力降低MEMS研發(fā)成本，縮短MEMS產(chǎn)品上市時(shí)間。