近日，日立發(fā)布新型場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)全新品牌Regulus®系列。
此次發(fā)布的機型包括作為SU8010的后續(xù)機型開發(fā)的Regulus8100以及SU8200系列的升級Regulus8220 Regulus8230 Regulus8240，共4個機型，均實現(xiàn)了分辨率和操作性的強化。
本次發(fā)布的新品牌Regulus系列電子光學系統(tǒng)進行了最優(yōu)化處理，使得著陸電壓在1kV時分辨率較前代機型提高了約20%。Regulus8220/8230/8240達到0.9nm，Regulus8100為1.1 nm的分辨率。另外，最適合低加速電壓下高分辨觀察的冷場電子槍可將樣品的細節(jié)放大，并獲得高質(zhì)量的圖片。最大放大倍率也由之前的100萬倍提高到了200萬倍。
除此之外，為了能更好的應(yīng)對不同樣品的測試和保持并發(fā)揮出高性能，還對用戶輔助工能進行了強化，如信號檢測系統(tǒng)的操作輔助功能，維護輔助功能等。
主要特點：
搭載了色差極小的適合低加速電壓高分辨率觀察的冷場電子槍
跟前代機型相比分辨率大約提高了20%
(Regulus8220/8230/8240：0.9 nm/1 kV，Regulus8100：1.1 nm/1 kV)
最大倍率從原來的100萬倍提高到200萬倍*1
用戶輔助功能，幫助用戶把儀器的高性能完全發(fā)揮出來
編輯點評
掃描電子顯微鏡被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù)，半導體、電子行業(yè)、生命科學材、料科學等領(lǐng)域的材料結(jié)構(gòu)觀察。日立高新技術(shù)以2020年成為電子顯微鏡行業(yè)全球第一為目標和中期經(jīng)營戰(zhàn)略，不斷加強研發(fā)，相信今后日立高新技術(shù)將研發(fā)更先進的電鏡產(chǎn)品，發(fā)展成為最先進、最前沿的事業(yè)創(chuàng)造企業(yè)。
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