項目概況
受福州大學(xué)委托，廈門市公物采購招投標有限公司對[3500]gwcg[gk]2022013-1、原子層沉積系統(tǒng)采購項目(二次)組織公開招標，現(xiàn)歡迎國內(nèi)合格的供應(yīng)商前來參加。原子層沉積系統(tǒng)采購項目(二次)的潛在投標人應(yīng)在福建省政府采購網(wǎng)(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免費申請賬號在福建省政府采購網(wǎng)上公開信息系統(tǒng)按項目獲取采購文件，并于2023年03月09日 09時00分00秒（北京時間）前遞交投標文件。
一、項目基本情況
項目編號：[3500]gwcg[gk]2022013-1
項目名稱：原子層沉積系統(tǒng)采購項目(二次)
采購方式：公開招標
預(yù)算金額：990,000.00元
采購包1(原子層沉積系統(tǒng)采購項目):
采購包預(yù)算金額：990,000.00元
采購包最高限價：990,000.00元
投標保證金：9,900.00元
采購需求：（包括但不限于標的的名稱、數(shù)量、簡要技術(shù)需求或服務(wù)要求等）
| 品目號 | 品目編碼及品目名稱 | 采購標的 | 數(shù)量（單位） | 允許進口 | 簡要需求或要求 | 品目預(yù)算(元) | 中小企業(yè)劃分標準所屬行業(yè) | |||||||||||||||||
| 1-1 | a02109900-其他儀器儀表 | 原子層沉積系統(tǒng) | 1(套) | 否 | 1、？反應(yīng)腔系統(tǒng) ★1) 樣品臺為不小于4英寸雙腔腔體，加熱溫度范圍：室溫至500 ℃，并且操作者可以控制設(shè)置，控制精度≤1 ℃，直徑100 mm基底范圍內(nèi)溫度均一性2 ℃； 2) 樣品臺直徑100 mm，可以生長4英寸晶圓及以下尺寸樣品； 3) 4路液源，3路載氣輔助源； ▲4) 設(shè)備可用于沉積單一薄膜、納米疊層與梯度薄膜的沉積和摻雜質(zhì)等；可在納米孔洞、臺階等高深寬比的納米結(jié)構(gòu)上沉積薄膜，具有良好的臺階覆蓋性； ▲5) 設(shè)備本底真空小于或等于1 pa，腔體漏率小于或等于5×10？-10pa·m3/s。 2、前驅(qū)體源輸送系統(tǒng) 1) 為減少薄膜在前驅(qū)體輸送管路內(nèi)的污染，前源輸送管路與金屬前驅(qū)體源輸送管路單獨進入反應(yīng)腔體。 ★2) 配備6路金屬前驅(qū)體源輸送管路，加熱源3路，載氣輔助源3路，配備載氣管路和質(zhì)量流量控制器。 ★3) 金屬前驅(qū)體源輸送管路均包裹在加熱套中，最高加熱溫度250 ℃。配置溫度傳感器，溫度控制精度≤±1℃。 ▲4) 每路管路配備ald專用閥門，為自帶吹掃功能的三孔閥，響應(yīng)時間小于5 ms，采用耐高溫執(zhí)行器，耐溫200 ℃，閥體材料為不銹鋼。閥體內(nèi)置有直徑為1/8英寸的加熱器，外包保溫套，最高加熱溫度200 ℃，溫度控制精度≤±1 ℃。 ▲5) 每路加熱源輸送管路和載氣輔助源輸送系統(tǒng)，分別配備1個ald專用閥門、1套加熱源容器以及加熱保溫系統(tǒng)。加熱源容器加熱保溫套，最高加熱溫度可達250 ℃，溫度控制精度≤±1 ℃。 6) 管路及接頭均采用電解拋光不銹鋼材料，所有氣體管路連接處采用金屬vcr密封；載氣管路采用n2或者ar氣體，通過質(zhì)量流量控制器控制；配備惰性氣體自清洗系統(tǒng)，在控制界面中可以根據(jù)需求設(shè)置自動清洗的次數(shù)。 3、等離子體源及控制 1) 采用電感耦合等離子體(icp)發(fā)生器，電極與襯底距離不小于200 mm； ▲2) 提供2路可用于等離子體工藝氣路，包含ald專用隔膜閥和流量控制器； 3) 獨立進氣口，與金屬前驅(qū)體源、氧源分開； ▲4) 采用13.56 mhz射頻電源，功率1%-100%可調(diào)，配備自動匹配器，匹配時間≤5秒。 5) 等離子體系統(tǒng)與控制界面集成，可在界面上查看等離子體入射功率及反射功率的實時動態(tài)曲線和歷史曲線，便于分析實驗數(shù)據(jù)。 4、臭氧源系統(tǒng)： 1) 配備臭氧發(fā)生器、臭氧破壞器、控制臭氧的質(zhì)量流量控制器； ▲2) 臭氧發(fā)生器產(chǎn)量 | 990,000.00 | 工業(yè) | |||||||||||||||||
本采購包不接受聯(lián)合體投標
合同履行期限：無二、申請人的資格要求：
1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定;
2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：
采購包1：無
3.本項目的特定資格要求：
采購包1：無
三、采購項目需要落實的政府采購政策
進口產(chǎn)品：不適用于本項目
節(jié)能產(chǎn)品：適用于本項目，按照《節(jié)能產(chǎn)品政府采購品目清單》執(zhí)行
環(huán)境標志產(chǎn)品：適用于本項目，按照《環(huán)境標志產(chǎn)品政府采購品目清單》執(zhí)行
信息安全產(chǎn)品：適用于本項目
信用記錄：適用于本項目
四、獲取招標文件
時間：2023-02-15至2023-02-22，（提供期限自本公告發(fā)布之日起不得少于5個工作日），每天上午00:00:00至12:00:00，下午12:00:00至23:59:59（北京時間，法定節(jié)假日除外）
地點：招標文件隨同本項目招標公告一并發(fā)布；投標人應(yīng)先在福建省政府采購網(wǎng)(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免費申請賬號在福建省政府采購網(wǎng)上公開信息系統(tǒng)按項目下載招標文件(請根據(jù)項目所在地，登錄對應(yīng)的(省本級/市級/區(qū)縣)）福建省政府采購網(wǎng)上公開信息系統(tǒng)操作)，否則投標將被拒絕。
方式：在線獲取
售價：免費
五、提交投標文件截止時間、開標時間和地點
2023-03-09 09:00:00（北京時間）（自招標文件開始發(fā)出之日起至投標人提交投標文件截止之日止，不得少于20日）
地點：福建省福州市晉安區(qū)東二環(huán)泰禾廣場一期寫字樓8號樓716室開標室
六、公告期限
自本公告發(fā)布之日起5個工作日。
七、其他補充事宜
招標公告項目基本情況中的“簡要需求或要求”以招標文件中的技術(shù)要求為準。
八、對本次招標提出詢問，請按以下方式聯(lián)系。
1.采購人信息
名稱：福州大學(xué)
地址：福建省福州市福州地區(qū)大學(xué)新區(qū)學(xué)園路2號
聯(lián)系方式：0591-22865917
2.采購代理機構(gòu)信息（如有）
名稱：廈門市公物采購招投標有限公司
地址：福建省廈門市思明區(qū)湖濱南路81號21層d單元
聯(lián)系方式：0591-87328296
3.項目聯(lián)系方式
項目聯(lián)系人：劉冬華
電話：0591-87328296
網(wǎng)址： zfcg.czt.fujian.gov.cn
開戶名：廈門市公物采購招投標有限公司
廈門市公物采購招投標有限公司
2023年02月15日
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