本站訊（精儀學(xué)院供稿）2022年8月20-22日，第六屆中國（國際）傳感器創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽決賽在河南鄭州舉行，精儀學(xué)院微納光學(xué)測控實驗室胡春光教授指導(dǎo)的由王子政、孫新磊、翟聰、劉亦辰和吳岳松等組成的“微納光學(xué)”團(tuán)隊以《面向半導(dǎo)體量測的微探頭超精密光譜傳感器》作品參賽，一舉獲得該項賽事的一等獎（創(chuàng)新設(shè)計組），是天津大學(xué)精儀學(xué)院參加該項賽事以來獲得的最高獎項。
精儀學(xué)院團(tuán)隊本次參賽的作品源自我國半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)的迫切需求。在微納光學(xué)測控實驗室?guī)熒墓餐ο?，不到一年的時間，實驗室就完成了相應(yīng)的開發(fā)工作，并成功進(jìn)入國內(nèi)相關(guān)領(lǐng)域頭部企業(yè)進(jìn)行現(xiàn)場測試，性能完全替代國外最好的同類產(chǎn)品。在此基礎(chǔ)上，實驗室從測試原理的創(chuàng)新應(yīng)用角度，將該類設(shè)備的應(yīng)用范圍拓展到高深寬比微結(jié)構(gòu)深度、懸空結(jié)構(gòu)內(nèi)部基底厚度等方面，也成為本次參賽取勝的關(guān)鍵。
中國（國際）傳感器創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽由中國儀器儀表學(xué)會主辦，本次大賽共收到作品近400項，來自全國高校、科研院所、企業(yè)等150多家單位參賽，1000余名高校學(xué)生、老師、科研人員和工程技術(shù)人員參與大賽。經(jīng)大賽評委會評審，共評選出90項優(yōu)秀作品進(jìn)入決賽。決賽共決出特等獎2項，一等獎10項（實驗室參賽作品排名第一）。
（編輯 劉曉艷 王菁偉）
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