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交大校企合作再出新成果,填補國產(chǎn)半導體參數(shù)測試系統(tǒng)在短脈沖測試的空缺

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近日,上海交通大學電子信息與電氣工程學院、北京大學集成電路學院聯(lián)合概倫電子正式發(fā)布新一代高精度快速波形發(fā)生與測量套件fs-pro hp-fwgmk,通過校企深度合作填補了國產(chǎn)半導體參數(shù)測試系統(tǒng)在短脈沖測試(piv)的空缺,為國內(nèi)產(chǎn)學研深度合作樹立了新的標桿。

該項研究成果由黃如院士領銜的北京大學、上海交通大學團隊和概倫電子聯(lián)合研發(fā)。作為短脈沖iv(piv)測試技術的先行者,黃如院士帶領團隊探索出一整套短脈沖產(chǎn)生、測量以及分析技術。其中,由黃如院士帶領的上海交大電院紀志罡教授研究小組在短脈沖捕捉電路架構(gòu)和信號處理算法方面的突破,保障了系統(tǒng)的高精度。概倫電子基于黃如院士聯(lián)合團隊提供的包括測試方法、電路原型、方案框架、版圖設計及piv應用在內(nèi)的指導意見繼續(xù)精細開發(fā),最終實現(xiàn)了最小脈寬130ns的高精度測量。

上海在先進器件研究過程中,新材料、新結(jié)構(gòu)與新工藝的應用都可能帶來未知的變化。研究者不但要關注精確的靜態(tài)電流電壓特性,更希望觀察到細微快速的動態(tài)行為。同時隨著半導體尺寸不斷減小,一些現(xiàn)象需要在極短的時間內(nèi)才能觀察到,例如先進工藝下的mos器件的bti效應,新興存儲器件如鐵電器件的瞬時反轉(zhuǎn)特性等?;诙堂}沖的測試則為該類研究奠定了堅實的基礎。

作者:

電子信息與電氣工程學院

供稿單位:

電子信息與電氣工程學院

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