壓電陶瓷管掃描器是徑向極化壓電材料的薄圓管體，具有四個(gè)外部電極和連續(xù)的內(nèi)部電極。當(dāng)電壓施加到外部電極之一時(shí)，相應(yīng)區(qū)域的致動(dòng)器管壁膨脹，這引起管尖的垂直收縮和大的橫向偏轉(zhuǎn)。圓周電極可用于垂直或徑向伸展和收縮。
壓電管掃描器廣泛用于掃描探針顯微鏡、光纖拉伸和光束掃描等應(yīng)用。可根據(jù)要求提供定制尺寸、規(guī)格。
技術(shù)參數(shù)
注：若工作在諧振頻率點(diǎn)，施加的驅(qū)動(dòng)電壓必須降到驅(qū)動(dòng)電壓上限的5％。
驅(qū)動(dòng)
在驅(qū)動(dòng)內(nèi)部電極配置中，X和Y電極以標(biāo)準(zhǔn)方式相等且相反極性的電壓驅(qū)動(dòng)。通過向內(nèi)部電極施加滿量程負(fù)電壓，獲得等于垂直掃描范圍的一半的收縮。該方法利用壓電材料更高的正電場(chǎng)強(qiáng)度，其通常是負(fù)電場(chǎng)強(qiáng)度的五倍。必須注意不要對(duì)內(nèi)部電極施加正電壓，因?yàn)檫@會(huì)導(dǎo)致去極化。
電極
壓電陶瓷管配有鎳薄膜電極。內(nèi)部電極是連續(xù)的，外部電極是四分區(qū)的。通過用稀硝酸蝕刻可以去除表面電極。可根據(jù)要求提供定制電極配置。
在需要高磁場(chǎng)的應(yīng)用中，鎳電極可以用銅或金代替。銅是一種經(jīng)濟(jì)的選擇，但金電極具有優(yōu)異的耐腐蝕性和導(dǎo)電性。
真空兼容性
壓電管不含任何除氣材料，并且完全兼容真空。
應(yīng)用案例
壓電陶瓷掃描管用于光纖掃描。
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