（30）日，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）宣布推出Prismo HiT3™ MOCVD設備，主要用于深紫外LED量產(chǎn)。
據(jù)介紹，中微Prismo系列MOCVD設備目前已進入全球大多數(shù)領(lǐng)先的藍綠光LED制造商，此次推出的Prismo HiT3™ 是中微Prismo系列MOCVD設備的最新產(chǎn)品。該設備是適用于高質(zhì)量氮化鋁和高鋁組分材料生長的關(guān)鍵設備，反應腔最高溫度可達1400度，具有優(yōu)異的工藝重復性、均勻性和低缺陷率。該設備同時也為高產(chǎn)量而設計，單爐可生長18片2英寸外延晶片，并可延伸到生長4英寸晶片。
此外，該設備具有新穎的腔體設計，能在高溫環(huán)境下生長高質(zhì)量氮化鋁工藝，并具有業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的深紫外LED高產(chǎn)出率；同時具備較長的平均免開腔維護間隔時間，進一步延長正常運行時間并提高產(chǎn)能。真空自動化傳輸系統(tǒng)可以抑制顆粒物的產(chǎn)生，并減少缺陷。自動化升降機構(gòu)可方便維護操作并有效節(jié)省維護時間。
中微公司表示，Prismo HiT3™ MOCVD設備早期的客戶包括國內(nèi)領(lǐng)先的深紫外LED制造商馬鞍山杰生半導體有限公司，該公司的深紫外LED在家用、醫(yī)療和科研設備等領(lǐng)域有廣泛應用。
深紫外光幾十年前就被應用于工業(yè)和民用消毒殺菌領(lǐng)域。它通過破壞細菌和病毒的DNA使其喪失繁殖能力來發(fā)揮作用。深紫外LED被用于不同波長的殺菌燈中，且與傳統(tǒng)的汞燈相比對環(huán)境無污染。類似SARS、MERS和新冠病毒的出現(xiàn)使得深紫外LED產(chǎn)品的需求激增，深紫外LED產(chǎn)品可以消滅這些新生微生物。波長260-280nm的UVC波段的深紫外光就是目前該領(lǐng)域最先進的技術(shù)解決方案（例如杰生半導體的深紫外LED產(chǎn)品）。
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