“跨尺度微納米測量儀的開發(fā)和應用”項目通過初步驗收

　　2019年3月22日，國家重大科學儀器設備開發(fā)專項“跨尺度微納米測量儀的開發(fā)和應用”項目初步驗收會議在上海市計量測試技術研究院召開。會議由國家市場監(jiān)管總局科財司主持，中國計量測試學會理事長蒲長城擔任專家組組長，上海市市場監(jiān)管局、上海市科委領導出席會議。

　　“跨尺度微納米測量儀的開發(fā)和應用”項目于2014年10月正式獲得國家科技部批準立項。由上海計測工程設備監(jiān)理有限公司牽頭，上海市計量測試技術研究院提供技術支撐?？偨?jīng)費7681萬元，其中中央財政專項經(jīng)費投入3731萬元，最終，該項目將形成年產50臺生產能力，累計銷售收入5000萬元。

　　項目研究的內容主要是突破我國在微納米檢測技術領域檢測方法集成開發(fā)的諸多技術瓶頸，攻克宏微聯(lián)動多軸驅動和多測頭集成、基于原子沉積光柵的納米量值溯源等關鍵技術，研制用于計量、工業(yè)生產、產品檢測中微形貌和幾何尺寸測量的微納米測量儀，并構建跨尺度、高精度微納米測量與研發(fā)平臺，為我國國防、航空航天、半導體制造業(yè)、微機電產業(yè)、大氣污染物防治等領域提供有效的納米計量技術的支持和保障，提升我國高新技術產業(yè)中微納米尺寸定量化測量的技術水平。

　　目前，項目已經(jīng)開發(fā)出6種不同型號跨尺度微納米測量儀，攻克了宏微結合多軸驅動和復合式測頭集成、原子沉積光柵納米量值溯源、雙角度傾斜式場掃描等關鍵技術。項目開發(fā)的雙測頭——光學干涉測頭和掃描探針顯微測頭垂直方向具有納米級分辨力，結合自主開發(fā)的跨尺度微納米測量儀軟件，能實現(xiàn)高度（深度）、表面粗糙度和平面度測量功能。項目成果可應用于航空航天、微電子、環(huán)境監(jiān)測等領域，為提升我國微納米領域測量能力奠定了基礎。

　　驗收會上，項目負責人邵力院長、技術負責人同濟大學李同保院士以及各任務負責人向專家組做了項目和任務的技術成果匯報。專家組根據(jù)初步驗收要求，著重對項目及下設的任務進行驗收。專家組審閱了相關資料，并現(xiàn)場參觀了項目成果“跨尺度微納米測量儀”樣機。經(jīng)專家質詢和討論，專家組形成驗收意見并一致同意項目通過本次驗收。