產(chǎn)品詳情
針對半導(dǎo)體測試需求,系統(tǒng)集成多通道溫度反饋,通過Pt100傳感器實時監(jiān)測芯片表面溫度分布,數(shù)據(jù)經(jīng)RS485傳輸至測試平臺。例如在IC老化實驗中,可編程執(zhí)行“-40℃→125℃循環(huán)1000次”,溫變速率精準控制,避免因熱應(yīng)力導(dǎo)致虛焊。循環(huán)泵采用磁力驅(qū)動,流量0~50L/min可調(diào),適配晶圓載具尺寸,確保溫場均勻性±0.1℃
- 溫度范圍:-65℃~250℃
- 均勻性:±0.3℃(芯片表面)
- 降溫速率:2℃/分鐘(水冷機型)
- 通訊協(xié)議:RS485,支持SCPI指令





