產(chǎn)品詳情
適合的應(yīng)用：
◆ 化學(xué)氣相沉積法制備高品質(zhì)單晶金剛石（基臺(tái)直徑5厘米）;
◆ 化學(xué)氣相沉積法制備石墨烯、碳納米管、富勒烯和金剛石膜等各種碳納米薄膜。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
◆ 本產(chǎn)品為不銹鋼腔體式5kw微波等離子體設(shè)備，功率密度高；
◆ 水冷式基片臺(tái)和水冷式金屬反映腔，保證系統(tǒng)能長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作；
◆ 基片溫度以微波等離子體自加熱方式達(dá)到；
◆ 真空測(cè)量?jī)x表采用全量程真空計(jì)，可精確測(cè)量本底真空和工作氣體壓強(qiáng)；
◆ 真空泵及閥門(mén)采用渦輪分子泵(極限真空為1x10-5Pa)和旋片式機(jī)械真空泵(極限真空為6x10-2Pa)，裝置可調(diào)節(jié)高真空隔膜閥和并聯(lián)高真空微調(diào)閥控制沉積氣壓；
◆ 配備冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，無(wú)水源要求，確保裝置高功率下可長(zhǎng)時(shí)間安全穩(wěn)定運(yùn)行；
◆ PLC自動(dòng)控制和手動(dòng)操作兩種操作模式，工藝流程可重復(fù)；
◆ 可配置沉積氣壓自動(dòng)控制模塊與全自動(dòng)工藝控制模塊，以便于穩(wěn)定可靠地制備高品質(zhì)金剛石薄膜和晶體。
◆ 化學(xué)氣相沉積法制備高品質(zhì)單晶金剛石（基臺(tái)直徑5厘米）;
◆ 化學(xué)氣相沉積法制備石墨烯、碳納米管、富勒烯和金剛石膜等各種碳納米薄膜。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
◆ 本產(chǎn)品為不銹鋼腔體式5kw微波等離子體設(shè)備，功率密度高；
◆ 水冷式基片臺(tái)和水冷式金屬反映腔，保證系統(tǒng)能長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作；
◆ 基片溫度以微波等離子體自加熱方式達(dá)到；
◆ 真空測(cè)量?jī)x表采用全量程真空計(jì)，可精確測(cè)量本底真空和工作氣體壓強(qiáng)；
◆ 真空泵及閥門(mén)采用渦輪分子泵(極限真空為1x10-5Pa)和旋片式機(jī)械真空泵(極限真空為6x10-2Pa)，裝置可調(diào)節(jié)高真空隔膜閥和并聯(lián)高真空微調(diào)閥控制沉積氣壓；
◆ 配備冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，無(wú)水源要求，確保裝置高功率下可長(zhǎng)時(shí)間安全穩(wěn)定運(yùn)行；
◆ PLC自動(dòng)控制和手動(dòng)操作兩種操作模式，工藝流程可重復(fù)；
◆ 可配置沉積氣壓自動(dòng)控制模塊與全自動(dòng)工藝控制模塊，以便于穩(wěn)定可靠地制備高品質(zhì)金剛石薄膜和晶體。
