產(chǎn)品詳情
半導(dǎo)體設(shè)備頻繁停機？普旭真空泵20000小時無故障運行實錄
應(yīng)用場景
在半導(dǎo)體制造的核心環(huán)節(jié)（如晶圓蝕刻、離子注入、化學(xué)機械拋光（CMP））中，真空泵需24小時連續(xù)運轉(zhuǎn)以維持工藝腔室的穩(wěn)定真空環(huán)境。傳統(tǒng)真空泵因腐蝕性氣體侵蝕、高溫油品劣化等問題，常導(dǎo)致突發(fā)性停機，引發(fā)設(shè)備宕機、晶圓報廢、產(chǎn)能損失等連鎖問題，嚴(yán)重時單次停機損失高達數(shù)十萬元。
產(chǎn)品特點
1. 全密封抗腐蝕設(shè)計
- IP55防護等級：軸承與電機采用全密封結(jié)構(gòu)，抵御酸性/堿性工藝氣體（如Cl?、CF?）腐蝕，壽命提升3倍。
- 特種合金轉(zhuǎn)子：表面碳化鎢涂層，硬度達HV1500，抗顆粒磨損性能提升80%。
2. 智能預(yù)維護系統(tǒng)
- 多參數(shù)實時監(jiān)測：內(nèi)置傳感器實時采集油溫（±1℃精度）、振動（0.1mm/s分辨率）、油位數(shù)據(jù)，異常狀態(tài)提前48小時預(yù)警。
- 云端遠程診斷**：通過IoT模塊上傳運行數(shù)據(jù)至普旭運維平臺，自動生成維護建議，減少人工巡檢成本。
性能參數(shù)
指標(biāo)
普旭油式真空泵
行業(yè)常規(guī)泵
MTBF（平均無故障時間）
≥20000小時
5000~8000小時
維護周期
6000小時/次
2000小時/次
振動值
＜2.8mm/s（ISO 10816-3）
＞5.0mm/s
耐腐蝕氣體濃度
≤1000ppm Cl?
≤300ppm Cl?
? 連續(xù)運行保障：某12英寸晶圓廠替換普旭泵后，年停機時間從120小時降至18小時，產(chǎn)能損失減少85%。
? 運維成本優(yōu)化：潤滑油更換頻率從每月1次延長至每季度1次，年維護成本節(jié)省超￥50萬元。
? 工藝穩(wěn)定性提升：真空壓力波動控制在±0.3%以內(nèi)，晶圓關(guān)鍵尺寸（CD）均勻性提升0.5nm。
普旭油式真空泵通過全密封抗腐蝕設(shè)計與智能化預(yù)維護系統(tǒng)，徹底解決半導(dǎo)體制造中真空泵頻繁停機的行業(yè)難題，實現(xiàn)20000小時無故障運行的行業(yè)標(biāo)桿性能。其高可靠性不僅保障了晶圓廠連續(xù)生產(chǎn)需求，更通過降低維護成本與工藝缺陷率，助力企業(yè)提升產(chǎn)能利用率與產(chǎn)品良率，成為高端半導(dǎo)體制造的真空系統(tǒng)。
