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集成電路節(jié)能運(yùn)作檢驗(yàn)

由于集成電路封裝動(dòng)力環(huán)境的要求比芯片制造要低很多,溫濕度控制范圍較大,將控制點(diǎn)盡量設(shè)定在通過(guò)改變冷凍水溫度、調(diào)節(jié)新風(fēng)與一次回風(fēng)比與二次回風(fēng)能容易達(dá)到的范圍內(nèi),這樣通過(guò)用人工與自動(dòng)相結(jié)合的控制方式來(lái)控制是一種合理、可靠、經(jīng)濟(jì)的措施。

  采用全自動(dòng)控制有可能造成空調(diào)機(jī)組中前面的表冷器在對(duì)空氣降溫去濕,后面的加熱器卻在加熱,噴蒸加濕器卻在噴蒸加濕,造成了前后冷熱抵消的無(wú)為能源浪費(fèi)。利用房間溫濕度控制范圍大,合理的、節(jié)能的空氣處理方式是當(dāng)空調(diào)機(jī)組噴蒸加濕時(shí),表冷器不進(jìn)行除濕,僅作降溫除去顯熱,即所謂干盤(pán)管(一年中除夏季高溫季節(jié)外基本能做到);表冷器冷卻降溫時(shí),加熱器不通熱水加熱,而是通過(guò)調(diào)節(jié)二次風(fēng)閥來(lái)達(dá)到加熱目的。這就要求操作工掌握一定的暖通知識(shí),根據(jù)實(shí)際情況,人為地提高表冷器除濕時(shí)“機(jī)器露點(diǎn)”溫度,即表冷器的冷凍水溫度。如某集成電路封裝公司地處浙江紹興,前道凈化廠房(減薄、劃片、粘片、壓焊等區(qū)域)的溫濕度要求為:23±2℃,50±10%,潔凈度為10000級(jí),區(qū)域面積共計(jì)1020m 2。在實(shí)際運(yùn)行時(shí),溫濕度傳感器設(shè)置在廠房?jī)?nèi),由DDC來(lái)控制空調(diào)機(jī)組的冷水閥、熱水閥、噴蒸加濕閥的開(kāi)關(guān),原采用7℃冷凍水,常造成表冷器除濕降溫后,后面加熱器再通熱水加熱,加濕器噴蒸加濕,前后相對(duì)抵消的能源浪費(fèi)現(xiàn)象。后將DDC控制的溫濕度設(shè)定值根據(jù)季節(jié)天氣情況,夏季設(shè)為24.5℃、57%,冬季設(shè)為22℃、42%(冬季采用自然制冷后,此設(shè)定值的電與蒸汽消耗相對(duì)較?。?。全年除冬季外冷凍水冷凍機(jī)出口溫度根據(jù)實(shí)際情況控制在8℃-13℃,減少了表冷器與空氣的潛熱交換,在一年中大部分的時(shí)間只作顯熱交換,節(jié)省了大量的電。由于該集成電路封裝生產(chǎn)廠房置于建筑物的中部,廠房?jī)?nèi)設(shè)備開(kāi)啟率高,發(fā)熱量相當(dāng)大,散濕量很小,全年需要排除室內(nèi)余熱量,因而全年取消了空調(diào)機(jī)組加熱器的熱水供應(yīng)。蒸汽的供應(yīng)根據(jù)實(shí)際天氣情況而定,一年中除冬季外大部分時(shí)間可以停止供應(yīng),因?yàn)橹灰块g相對(duì)濕度在40%-60%之間即可。依靠操作管理人員掌握的空調(diào)暖通知識(shí),運(yùn)用前面所述技巧,合理調(diào)節(jié)新風(fēng)風(fēng)閥、一次回風(fēng)閥、二次回風(fēng)閥開(kāi)度的大小,同時(shí)與DDC自控的閥門(mén)動(dòng)作相結(jié)合來(lái)控制調(diào)節(jié),在保證合格的廠房溫濕度、潔凈度的基礎(chǔ)上,節(jié)省了大量的動(dòng)力成本。該公司另有溫濕度要求的后道廠房(塑封、打印、切筋等區(qū)域,面積計(jì)1500m 2)。二個(gè)廠房的空調(diào)通過(guò)人工與自動(dòng)相結(jié)合的控制全年共節(jié)省約40萬(wàn)度電。

  冬季由電制冷改為自然制冷由于冬季室外空氣溫度低,有很長(zhǎng)一段時(shí)間室外氣溫在10℃以下,空氣濕球溫度也很低,在這段時(shí)間利用室外冷卻塔來(lái)對(duì)冷凍水降溫是一項(xiàng)很節(jié)能的技改措施。按經(jīng)驗(yàn),經(jīng)冷卻塔熱交換冷卻的冷卻水出口溫度約高于空氣濕球溫度1-2℃,完全可作為集中式空調(diào)系統(tǒng)用的冷凍水。這樣在冬季可以做到不開(kāi)冷凍機(jī),還可以節(jié)省為冷凍機(jī)配套的冷卻水水泵,節(jié)省大量的電。

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